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        技術文章

        想不到吧?OEM蠕動泵對半導體行業也提供著幫助

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           想不到吧?OEM蠕動泵對半導體行業也提供著幫助
          許多實驗室及輕工制造商對OEM蠕動泵的要求非常嚴格,要確保實驗結果的準確性、數據的可靠性,保證生產流程的連續性和穩定性。因此在物料的傳輸,各種試劑的計量和添加應用中,要求OEM蠕動泵傳輸精度高,穩定性好,操作簡便及維護簡單。
          OEM蠕動泵是一種能選擇流量、地得到您所需的液量、能設定工作時間、可以連續循環地間隙運轉、自動計算流量和輸送量等。當輸液量達到預置量后會自動發出聲音報警,還具有斷電數據保護功能,在工作停止關機后,再一次打開還能繼續上一次使用設定的各項數據。
          半導體制造要求始終控制工藝工具中的液體流動,苛刻的應用之一是化學機械平坦化(CMP)。當CMP工具不能將一致的漿料速率分配到拋光基材上時,它會對產量,化學品使用和材料完整性產生極大的負面影響。晶圓厚度的變化,缺陷密度的增加,工具停機時間和晶圓廢料的增加只是流程控制不良可能導致的一些問題。
          OEM蠕動泵非常適合半導體行業的高純度和腐蝕性化學環境,對于CMP,提供了在拋光過程中的使用點漿料流分配到晶片所需的線性和可重復性,低剪切力對CMP漿料溫和,其變速操作允許在很寬的操作范圍內控制流量,以保持過程的完整性。
          漿料的性能可實現的晶圓平面度,OEM蠕動泵通過控制漿料輸送和分配,有助于實現這一目標。OEM蠕動泵的非侵入式設計提供了直的流動路徑,沒有死流區域,使漿料凝聚,硬化并污染過程。流速達到±0.5%。提供的穩定的流體輸送不僅可確保漿料不斷流向拋光墊,還可減少漿料,化學品和去離子水的浪費。
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